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“中国芯”关键材料国产化

前驱体材料

光刻胶及配套材料

2，2，4，4-四甲硅烷基戊硅烷（BNS）

2，2，4，4-四甲硅烷基戊硅烷（BNS）

中文名：2，2，4，4-四甲硅烷基戊硅烷
英文名：2，2，4，4-Tetrasilylpentasilane
CAS号：1668602-96-7
纯度：≥98.0%
用途：在低温通过化学气相沉积（CVD）快速形成外延硅和多晶硅
规格：公斤级

新戊硅烷（NPS）

新戊硅烷（NPS）

中文名：新戊硅烷
英文名：Neopentasilane
CAS号：15947-57-6
纯度：≥99.0%
用途：在低温通过化学气相沉积（CVD）快速形成外延硅和多晶硅
规格：公斤级

四氯化钛（Ticl₄）

四氯化钛（Ticl₄）

中文名：四氯化钛
英文名：Titanium tetrachloride
CAS号：7550-45-0
熔点：-25℃
沸点：135 - 136 °C
蒸气压：12.8 hPa 在 20 °C
产品等级：6N
规格：15kg

四乙氧基硅烷（TEOS）

四乙氧基硅烷（TEOS）

中文名：四乙氧基硅烷
英文名：Tetraethoxysilane
CAS号：1978-10-4
熔点：-82.49℃
沸点：168°C
蒸气压：10.0 hPa 在 20℃
产品等级：9N
规格：17.7kg、35kg、200kg

双（二乙氨基）硅烷（BDEAS）

双（二乙氨基）硅烷（BDEAS）

中文名：双（二乙氨基）硅烷
英文名：Bis(diethylamino)silane
CAS号：27804-64-4
熔点：＜-10℃
沸点：188℃
产品等级：5N
规格：10kg

六氯乙硅烷（HCDS）

六氯乙硅烷（HCDS）

中文名：六氯乙硅烷
英文名：Hexachlorodisilane
CAS号：13465-77-5
沸点：144 - 145.5℃
产品等级：6N
规格：13kg

八甲基环四硅氧烷 (OMCTS)

八甲基环四硅氧烷 (OMCTS)

中文名：八甲基环四硅氧烷
英文名：Octamethyl cyclotetrasiloxane
CAS号：556-67-2
熔点：17-19℃
沸点：175-176℃
蒸气压：1 mmHg (21.7℃)
产品等级：7N5
规格：10kg、18kg、200kg

四甲基硅烷（4MS）

四甲基硅烷（4MS）

中文名：四甲基硅烷
英文名：Tetramethylsilane
CAS号：75-76-3
熔点：-99℃
沸点：26-28℃
产品等级：7N5
规格：10kg、20kg、110kg、125kg

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